近日,清華大學(xué)集成電路學(xué)院教授任天令團(tuán)隊(duì)在小尺寸晶體管研究方面取得突破,首次制備出亞1納米柵極長(zhǎng)度的晶體管,其具有良好的電學(xué)性能。相關(guān)成果發(fā)表在最新一期《自然》雜志在線版上。
晶體管是芯片的核心元器件,更小的柵極尺寸能讓芯片上集成更多的晶體管,并提升性能。過(guò)去幾十年,晶體管的柵極尺寸在摩爾定律的推動(dòng)下不斷微縮。但近年來(lái),隨著晶體管的物理尺寸進(jìn)入納米尺度,造成電子遷移率降低、漏電流增大、靜態(tài)功耗增大等短溝道效應(yīng)越來(lái)越嚴(yán)重。因此,新結(jié)構(gòu)和新材料的開發(fā)迫在眉睫。
目前主流工業(yè)界晶體管的柵極尺寸在12納米以上。為進(jìn)一步突破1納米以下柵長(zhǎng)晶體管的瓶頸,任天令團(tuán)隊(duì)巧妙利用石墨烯薄膜超薄的單原子層厚度和優(yōu)異的導(dǎo)電性能,將其作為柵極,通過(guò)石墨烯側(cè)向電場(chǎng)來(lái)控制垂直的二硫化鉬(MoS2)溝道的開關(guān),從而實(shí)現(xiàn)等效的物理柵長(zhǎng)為0.34納米。
“在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間內(nèi),要打破這一紀(jì)錄是非常困難的。”紐約州立大學(xué)布法羅分校納米電子學(xué)科學(xué)家李華民評(píng)價(jià)道,這項(xiàng)新工作將柵極的尺寸極限進(jìn)一步縮小到“僅一層碳原子的厚度”。那么,對(duì)于小尺寸晶體管的研究,當(dāng)初如何想到采用石墨烯材料來(lái)突破瓶頸?
“單層石墨烯厚度僅0.34納米,因此采用石墨烯作為柵極,能夠?qū)崿F(xiàn)極短的柵極尺寸。石墨烯本身是平面結(jié)構(gòu),這就要求溝道是垂直結(jié)構(gòu),要實(shí)現(xiàn)垂直的溝道結(jié)構(gòu)是其中一個(gè)難題。另外石墨烯除了側(cè)壁能夠柵控,其表面也能柵控,因此屏蔽石墨烯表面電場(chǎng)也是難點(diǎn),我們開發(fā)出了自氧化鋁層來(lái)對(duì)石墨烯表面電場(chǎng)進(jìn)行屏蔽。”3月20日,任天令在接受科技日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)表示。
如何讓1納米以下柵長(zhǎng)晶體管從實(shí)驗(yàn)室成果走向產(chǎn)業(yè)化?任天令答道:“1納米以下柵長(zhǎng)晶體管只是一個(gè)維度的尺寸微縮,未來(lái)還需要配合溝道的微縮,而這需要借助光刻機(jī),比如把溝道尺寸通過(guò)極紫外(EUV)光刻進(jìn)一步微縮到5納米,并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)超大規(guī)模的芯片。”
如果說(shuō)這項(xiàng)研究實(shí)現(xiàn)世界上柵長(zhǎng)最小晶體管,推動(dòng)摩爾定律進(jìn)一步發(fā)展到亞1納米級(jí)別,是否意味著這也是一個(gè)新的開始,將會(huì)有新的探索——誕生更小級(jí)別的晶體管?
“是的,這確實(shí)是新的開始,還將會(huì)有新的探索——誕生更小級(jí)別的晶體管。”面對(duì)記者的提問,任天令肯定地回答道,“前提是能夠研發(fā)出更小原子尺寸的單層材料。目前在元素周期表上比碳原子小的材料是潛在的候選者,但需要注意,比碳原子小的這些材料目前還不存在單原子層結(jié)構(gòu),因此未來(lái)誕生更小級(jí)別的晶體管難度很大。比如利用氫原子來(lái)進(jìn)行柵極控制很可能是晶體管柵極長(zhǎng)度的終極尺寸,但是制備金屬氫本身就是世界性難題,雖然《科學(xué)》2017年報(bào)道了金屬氫,但是金屬氫極不穩(wěn)定,且不存在單原子層結(jié)構(gòu),因此難度很大。”
那么,在未來(lái)集成電路的應(yīng)用中,這種二維薄膜將賦予相關(guān)產(chǎn)品怎樣與眾不同的性能?
任天令介紹說(shuō):“二維薄膜的未來(lái)集成電路將會(huì)帶來(lái)柔性、更高密度、透明的電子產(chǎn)品,比如目前很熱點(diǎn)的柔性電子屏幕,但目前的CPU不是柔性的,如果采用了二維材料,就有機(jī)會(huì)實(shí)現(xiàn)一個(gè)全柔性的手機(jī),包括CPU、存儲(chǔ)器也可以是柔軟的。對(duì)于本工作而言,我們團(tuán)隊(duì)在實(shí)現(xiàn)世界上柵長(zhǎng)最小晶體管基礎(chǔ)上,還實(shí)現(xiàn)了更低功耗的晶體管,這就意味著未來(lái)的芯片可以更加節(jié)能。”
“這次的科研工作,屬于研究團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期積累獲得的一個(gè)成果,中間的過(guò)程充滿挑戰(zhàn)。這一工作是中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),未來(lái)我們還將繼續(xù)進(jìn)行溝道微縮及大規(guī)模芯片集成等工作,為中國(guó)芯作出一份貢獻(xiàn)。”任天令強(qiáng)調(diào)。
責(zé)任編輯:莊婷婷
特別聲明:本網(wǎng)登載內(nèi)容出于更直觀傳遞信息之目的。該內(nèi)容版權(quán)歸原作者所有,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)。如該內(nèi)容涉及任何第三方合法權(quán)利,請(qǐng)及時(shí)與ts@hxnews.com聯(lián)系或者請(qǐng)點(diǎn)擊右側(cè)投訴按鈕,我們會(huì)及時(shí)反饋并處理完畢。
- 美歐芯片計(jì)劃對(duì)“中國(guó)芯”有何影響2022-02-09
- 要和中美競(jìng)爭(zhēng)?“歐盟芯片法案”投資450億歐元2022-02-08
- 輸贏主持琳達(dá)跟方威是誰(shuí)演的 輸贏魏巖被揭穿是哪集2022-01-19
已有0人發(fā)表了評(píng)論