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新華社北京3月17日電(記者溫競?cè)A)記者17日從中國電子科技集團(tuán)有限公司獲悉,該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化,可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。

離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中,需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中,離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

據(jù)介紹,中國電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)?ldquo;卡脖子”技術(shù),自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī),工藝段覆蓋至28nm,累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng),實(shí)現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展,有效緩解我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

裝備子集團(tuán)有關(guān)負(fù)責(zé)人表示,下一步,企業(yè)將瞄準(zhǔn)高端,緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展,加快研發(fā)適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的離子注入機(jī)并積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化。

責(zé)任編輯:趙睿

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